quDIS六自由度激光干涉測(cè)量系統(tǒng) -  高精度位姿測(cè)量解決方案!

基于皮米級(jí)精度激光干涉儀的 6 自由度位姿測(cè)量系統(tǒng)利用多光斑干涉測(cè)量與嚴(yán)謹(jǐn)?shù)淖鴺?biāo)標(biāo)定算法， 一次標(biāo)定即可在后續(xù)運(yùn)動(dòng)過程中實(shí)時(shí)輸出三維位置與姿態(tài)變化， 讓位移臺(tái) / 工裝 / 被測(cè)件的每一個(gè)微小運(yùn)動(dòng)都可見、可控、可溯源。是一種用于校準(zhǔn)和評(píng)估各種運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和機(jī)械的多軸精度的儀器。通常用于制造、機(jī)器人、數(shù)控機(jī)床和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等應(yīng)用領(lǐng)域，以保持設(shè)備的精度和可靠性。

為什么需要“真"六自由度測(cè)量？

激光干涉儀行業(yè)痛點(diǎn)：

傳統(tǒng)傳感器多為單軸或少量自由度，難以反映真實(shí)空間運(yùn)動(dòng)。

視覺方案在高精度、小行程、遮擋場(chǎng)景下往往受限明顯。

部分 6DOF 方案依賴復(fù)雜工裝和昂貴基準(zhǔn)，部署與維護(hù)成本高。

現(xiàn)有方案數(shù)學(xué)模型封閉，難以與控制系統(tǒng)深度耦合。

quDIS六自由度激光干涉測(cè)量系統(tǒng) 的解決方案：

基于干涉測(cè)量，分辨率高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)快。

利用位移臺(tái)自身的純平移 / 純旋轉(zhuǎn)動(dòng)作完成標(biāo)定，無需額外基準(zhǔn)。

完整公開的坐標(biāo)變換與方程組，便于驗(yàn)證、優(yōu)化與二次開發(fā)。

可輸出標(biāo)準(zhǔn)化 6DOF 數(shù)據(jù)流，快速接入現(xiàn)有上位機(jī)與控制系統(tǒng)。

quDIS 六自由度激光干涉測(cè)量系統(tǒng)的原理總覽：

從光程變化到 6DOF 位姿

整個(gè)系統(tǒng)以干涉儀測(cè)量的光程變化為輸入， 經(jīng)由“坐標(biāo)系標(biāo)定 → 光斑位置標(biāo)定 → 干涉儀-位移臺(tái)關(guān)系標(biāo)定 → 任意姿態(tài)解算"四步， zui終輸出干涉儀坐標(biāo)系相對(duì)于參考系的旋轉(zhuǎn)矩陣 與平移向量。

quDIS 六自由度激光干涉測(cè)量系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)：為精密場(chǎng)景而生

數(shù)學(xué)模型可追溯

全鏈路可解析

從位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)、坐標(biāo)變換到干涉測(cè)量與姿態(tài)解算， 每一步都有明確公式與幾何意義，便于驗(yàn)證、建模與二次開發(fā)。

標(biāo)定流程簡(jiǎn)單

利用平臺(tái)自身即可標(biāo)定

只需要位移臺(tái)能執(zhí)行可控的純平移與純旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)， 無需額外外部基準(zhǔn)，大幅降低部署與維護(hù)門檻。

高精度 & 高穩(wěn)定性

干涉測(cè)量 + 優(yōu)化算法

光程差測(cè)量帶來自然的高分辨率， 配合zui小二乘與非線性優(yōu)化，抵御噪聲與漂移。

易集成

多平臺(tái)快速接入

提供標(biāo)準(zhǔn) 6DOF 數(shù)據(jù)接口， 支持與多軸控制器、機(jī)器人、機(jī)床等系統(tǒng)對(duì)接。

可擴(kuò)展

光斑數(shù)量與配置可定制

基于同一理論框架，可擴(kuò)展不同光斑布局與數(shù)量， 適配不同尺寸與剛度的被測(cè)目標(biāo)。

工程友好

面向現(xiàn)場(chǎng)的工具鏈

提供標(biāo)定向?qū)А?shù)據(jù)質(zhì)量評(píng)估、日志追蹤等輔助功能， 支持生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)長期穩(wěn)定運(yùn)行。

quDIS 六自由度激光干涉測(cè)量系統(tǒng)典型的應(yīng)用場(chǎng)景:

高精度裝配與主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)

光學(xué)元件、光柵、掩模版的六自由度精調(diào)。

光通信器件、光學(xué)模塊、傳感器等的主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)控制。

裝備裝配環(huán)節(jié)的誤差可視化與過程控制。

運(yùn)動(dòng)平臺(tái)標(biāo)定與誤差補(bǔ)償

線性位移臺(tái) / 轉(zhuǎn)臺(tái) / 六維平臺(tái)等的幾何誤差測(cè)量。

機(jī)床工作臺(tái)的姿態(tài)誤差識(shí)別與補(bǔ)償策略開發(fā)。

機(jī)器人末端執(zhí)行器的姿態(tài)監(jiān)控與校正。

科研實(shí)驗(yàn)與結(jié)構(gòu)測(cè)量

剛體運(yùn)動(dòng)學(xué)驗(yàn)證、柔性結(jié)構(gòu)變形測(cè)量。

精密儀器長期穩(wěn)定性與環(huán)境敏感性分析。

振動(dòng)模式、共振特性及動(dòng)態(tài)響應(yīng)研究。

更多定制場(chǎng)景

在任何需要精確獲取“位移 + 轉(zhuǎn)角"的場(chǎng)合， 均可基于本系統(tǒng)進(jìn)行二次開發(fā)與深度集成。

真空 / 超凈環(huán)境

大行程平臺(tái)

復(fù)雜多軸聯(lián)動(dòng)

在軌 / 特殊工況

quDIS 六自由度激光干涉測(cè)量系統(tǒng)測(cè)試的內(nèi)容：