相位偏折測(cè)試系統(tǒng),是基于相位測(cè)量偏折法的高精度 3D 表面檢測(cè)方案,覆蓋平面、曲面、多件并行與機(jī)器人引導(dǎo)等場(chǎng)景,單次測(cè)量即可完成形狀偏差與表面缺陷檢測(cè),適配汽車、3C、半導(dǎo)體等行業(yè)的微米級(jí)質(zhì)量控制。
IQFROG超短脈沖分析儀(高靈敏性,光纖耦合輸入)是基于頻率分辨光學(xué)開關(guān)技術(shù)(FROG)實(shí)現(xiàn)對(duì)脈沖激光在時(shí)域和頻域的強(qiáng)度和相位測(cè)量,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)脈沖激光信號(hào)的精確表征。IQFROG超短脈沖測(cè)量?jī)x配有大形成電動(dòng)延時(shí)平臺(tái)和高分辨率光譜儀,可實(shí)現(xiàn)up to 50ps脈寬的啁啾脈沖測(cè)量;對(duì)于傅里葉極限脈寬,其脈寬可測(cè)范圍能覆蓋0.3-10ps。